需要固體物理的知識:
費米能級(電子的分布) -- 能帶(晶格原子對勢場(chǎng)分布的影響)
最后要弄懂載流子就是空穴和電子
需要統計物理:
玻爾茲曼分布 -- 費米分布
要知道簡(jiǎn)并, 非簡(jiǎn)并時(shí)該用什么分布
剩下的半導體物理全都是簡(jiǎn)單的積分。算來(lái)算去無(wú)非就是算載流子濃度的變化。延伸一下就是電流密度,電容。..
如果你沒(méi)學(xué)過(guò)固體物理,那么第一章直接跳過(guò)。用baidu弄懂費米能級 -- 能帶 -- 空穴 -- 電子這四個(gè)概念。然后從第二章開(kāi)始學(xué),其實(shí)就是統計積分----不過(guò),這樣會(huì )很累。
離子注入
18,化學(xué)機械平坦化
19,硅片測試
20,淀積
12,金屬化
13,光刻:氣相成底膜到軟烘
14,光刻:對準和曝光
15,光刻:光刻膠顯影和先進(jìn)的光刻技術(shù)
16,刻蝕
171,半導體產(chǎn)業(yè)介紹
2,半導體材料特性
3,器件技術(shù)
4,硅和硅片制備
5,半導體制造中的化學(xué)品
6,硅片制造中的沾污控制
7,測量學(xué)和缺陷檢查
8,工藝腔內的氣體控制
9,集成電路制造工藝概況
10,氧化
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半導體( semiconductor),指常溫下導電性能介于導體(conductor)與絕緣體(insulator)之間的材料。
半導體在收音機、電視機以及測溫上有著(zhù)廣泛的應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。
半導體是指一種導電性可受控制,范圍可從絕緣體至導體之間的材料。無(wú)論從科技或是經(jīng)濟發(fā)展的角度來(lái)看,半導體的重要性都是非常巨大的。
今日大部分的電子產(chǎn)品,如計算機、移動(dòng)電話(huà)或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著(zhù)極為密切的關(guān)連。常見(jiàn)的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等,而硅更是各種半導體材料中,在商業(yè)應用上最具有影響力的一種。
半導體就是介于導體與絕緣體之間的物質(zhì)。它分為本征半導體和雜志半導體。
本征半導體:純凈晶體結構的半導體稱(chēng)之為本征半導體。常用的材料如:硅和鍺。它們都是四價(jià)元素,即原子軌道的最外層有4個(gè)電子。當把它們制作成晶體時(shí),它們是靠共價(jià)鍵的作用緊密聯(lián)系在一起的。
雜質(zhì)半導體:在本征半導體摻入特定的雜質(zhì)來(lái)改變它的導電性,這種半導體成為雜質(zhì)半導體。
N型半導體:
在本征半導體中摻入5價(jià)元素,使晶體中某些原子被雜質(zhì)原子所替代,因為雜質(zhì)原子最外層有5個(gè)價(jià)電子,它與周?chē)有纬晒矁r(jià)鍵后還多于一個(gè)自由電子,因此使空穴的濃度遠小于自由電子的濃度。但是,電子的濃度與空穴的濃度的乘積是一個(gè)常數,與摻雜無(wú)關(guān)。
P型半導體:
在本征半導體中摻入3價(jià)元素,晶體中的某些原子被雜質(zhì)原子代替,但是雜質(zhì)原子的最外層只有3個(gè)價(jià)電子,它與周?chē)有纬晒矁r(jià)鍵后還多余一個(gè)空穴,因此使空穴的濃度遠大于自由電子的濃度。
半導體中有兩種載流子:自由電子和空穴。
在熱力學(xué)溫度零度和沒(méi)有外界能量激發(fā)時(shí),價(jià)電子受共價(jià)鍵的束縛,晶體中不存在自由運動(dòng)的電子,半導體是不能導電的。但是,當半導體的溫度升高(例如室溫300oK)或受到光照等外界因素的影響,某些共價(jià)鍵中的價(jià)電子獲得了足夠的能量,足以?huà)昝摴矁r(jià)鍵的束縛,躍遷到導帶,成為自由電子,同時(shí)在共價(jià)鍵中留下相同數量的空穴。
空穴是半導體中特有的一種粒子。它帶正電,與電子的電荷量相同。
把熱激發(fā)產(chǎn)生的這種躍遷過(guò)程稱(chēng)為本征激發(fā)。顯然,本征激發(fā)所產(chǎn)生的自由電子和空穴數目是相同的。
由于空穴的存在,臨近共價(jià)鍵中的價(jià)電子很容易跳過(guò)去填補這個(gè)空穴,從而使空穴轉移到臨近的共價(jià)鍵中去,而后,新的空穴又被其相鄰的價(jià)電子填補,這一過(guò)程持續下去,就相當于空穴在運動(dòng)。帶負電荷的價(jià)電子依次填補空穴的運動(dòng)與帶正電荷的粒子作反方向運動(dòng)的效果相同,因此我們把空穴視為帶正電荷的粒子。
可見(jiàn),半導體中存在兩種載流子,即帶電荷+q的空穴和帶電荷–q的自由電子。 在沒(méi)有外加電場(chǎng)作用時(shí),載流子的運動(dòng)是無(wú)規則的,沒(méi)有定向運動(dòng),所以形不成電流。
在外加電場(chǎng)作用下,自由電子將產(chǎn)生逆電場(chǎng)方向的運動(dòng),形成電子電流,同時(shí)價(jià)電子也將逆電場(chǎng)方向依次填補空穴,其導電作用就像空穴沿電場(chǎng)運動(dòng)一樣,形成空穴電流。雖然在同樣的電場(chǎng)作用下,電子和空穴的運動(dòng)方向相反,但由于電子和空穴所帶電荷相反,因而形成的電流是相加的,即順著(zhù)電場(chǎng)方向形成電子和空穴兩種漂移電流。
在本征半導體硅(或鍺)中摻入少量的五價(jià)元素,如磷、砷或銻等,就可以構成N型半導體。若在鍺晶體中摻入少量的砷原子如圖1所示,摻入的砷原子取代了某些鍺原子的位置。
砷原子有五個(gè)價(jià)電子,其中有四個(gè)與相鄰的鍺原子結合成共價(jià)鍵,余下的一個(gè)不在共價(jià)鍵內,砷原子對它的束縛力較弱,因此只需得到極小的外界能量,這個(gè)電子就可以?huà)昝撋樵拥氖`而成為自由電子。這種使雜質(zhì)的價(jià)電子游離成為自由電子的能量稱(chēng)為電離能。
這種電離能遠小于禁帶寬度EGO,所以在室溫下,幾乎所有的雜質(zhì)都已電離而釋放出自由電子。雜質(zhì)電離產(chǎn)生的自由電子不是共價(jià)鍵中的價(jià)電子,因此,與本征激發(fā)不同,它不會(huì )產(chǎn)生空穴。
失去一個(gè)價(jià)電子的雜質(zhì)原子成為一個(gè)正離子,這個(gè)正離子固定在晶格結構中,不能移動(dòng),所以它不參與導電。 由于砷原子很容易貢獻出一個(gè)自由電子故稱(chēng)為“施主雜質(zhì)”。
失去一個(gè)價(jià)電子而電離的雜質(zhì)原子,稱(chēng)為“施主離子”。施主雜質(zhì)的濃度用ND表示。
砷原子對第5個(gè)價(jià)電子的束縛力較弱,反應在能帶圖上,就是該電子的能級非常接近導帶底,稱(chēng)施主能級ED,其能帶圖如圖2所示。在砷原子數量很少時(shí),各施主能級間幾乎沒(méi)有什么影響,施主能級處于同一能量水平。
施主能級ED和導帶底能級EC之差稱(chēng)為施主電離能級EiD。對鍺中摻有砷的雜質(zhì)半導體,約為0.0127eV,比鍺的禁帶寬度0.72eV小的多。
在常溫下,幾乎所有砷施主能級上的電子都跳到了導帶,成為自由電子,留下的則是不能移動(dòng)的砷施主離子。因此,N型半導體的自由電子由兩部分構成,一部分由本征激發(fā)產(chǎn)生,另一部分由施主雜質(zhì)電離產(chǎn)生,只要在鍺中摻入少量的施主雜質(zhì),就可以使后者遠遠超過(guò)前者。
例如每104個(gè)鍺原子中摻入一個(gè)砷原子,鍺的原子密度是4.4′1022/cm3,在單位體積中就摻入了4.4′1018個(gè)砷原子,即施主雜質(zhì)濃度ND=4.4′1018/cm3。在室溫下,施主雜質(zhì)電離產(chǎn)生的自由電子濃度n=ND=4.4′1018/cm3。
而鍺本征激發(fā)產(chǎn)生的自由電子濃度ni=2.5′1013/cm3,可見(jiàn)由雜質(zhì)提供的自由電子濃度比本征激發(fā)產(chǎn)生的自由電子濃度大10萬(wàn)倍。由于自由電子的大量增加,使得電子與空穴復合機率增加,因而空穴濃度急劇減小,在熱平衡狀態(tài)下,空穴濃度Pn比本征激發(fā)產(chǎn)生的空穴濃度pi要小的多。
因此,N型半導體中,自由電子濃度遠大于空穴濃度,即nn>>pn。因為自由電子占多數,故稱(chēng)它為多數載流子,簡(jiǎn)稱(chēng)“多子”;而空穴占少數,故稱(chēng)它為少數載流子,簡(jiǎn)稱(chēng)“少子”。
在本征半導體硅(或鍺)中摻入少量的三價(jià)元素,如硼、鋁或銦等,就可以構成P型半導體。若在鍺晶體中摻入少量的硼原子如圖3所示,摻入的硼原子取代了某些鍺原子的位置。
硼原子有三個(gè)價(jià)電子,當它與相鄰的鍺原子組成共價(jià)鍵時(shí),缺少一個(gè)電子,產(chǎn)生一個(gè)空位,相鄰共價(jià)鍵內的電子,只需得到極小的外界能量,就可以?huà)昝摴矁r(jià)鍵的束縛而填補到這個(gè)空位上去,從而產(chǎn)生一個(gè)可導電的空穴。由于三價(jià)雜質(zhì)的原子很容易接受價(jià)電子,所以稱(chēng)它為“受主雜質(zhì)”。
硼的受主能級EA非常接近價(jià)帶頂EV,即受主電離能級EiA=EA-EV之值很小,受主能級幾乎全部被原價(jià)帶中的電子占據,受主雜質(zhì)硼全部電離。受主雜質(zhì)接受了一個(gè)電子后,成為一個(gè)帶負電荷的負離子。
這個(gè)負離子固定在鍺晶格結構中不能移動(dòng),所以不參與導電。在常溫下,空穴數大大超過(guò)自由電子數,所以這類(lèi)半導體主要由空穴導電,故稱(chēng)為P型或空穴型半導體。
P型半導體中,空穴為多數載流子,自由電子為少數載流子。 雜質(zhì)半導體中,施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì)要么處于未離化的中性態(tài),。
這個(gè)問(wèn)題很寬泛,不太好準確回答。我的導師就是教劉恩科的《半導體物理》,我考研的專(zhuān)業(yè)課就是《固體物理》。我自認為自己《固體物理》學(xué)得還不錯,在沒(méi)有人指導的情況下,這門(mén)專(zhuān)業(yè)課還考了130左右。
我個(gè)人覺(jué)得這兩門(mén)課之間關(guān)系緊密,要學(xué)好《半導體物理》,需要掌握《固體物理》里的幾乎所有內容。要知道,這兩門(mén)課學(xué)習的其實(shí)都是一些理論模型,而不是從微觀(guān)上能夠直接觀(guān)察到的物理現象。直到現在我都讀博士了,也遠不能說(shuō)真正對這兩門(mén)知識搞得很清楚。
就具體而言,我覺(jué)得要學(xué)好《半導體物理》,那么《固體物理》中的與能帶相關(guān)的知識一定要學(xué)的很扎實(shí),要從根本上加以理解。因為,半導體之所以為半導體,就是能帶結構和導體及金屬有著(zhù)本質(zhì)的區別。另外,要比較清楚關(guān)于缺陷的概念和對材料產(chǎn)生的影響。要知道,半導體里面進(jìn)行各種摻雜,其實(shí)就是在引入缺陷。其次,學(xué)好倒格子等相關(guān)概念也很重要。
如果還有什么問(wèn)題,可以通過(guò)站內信討論,呵呵。
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